次世代通信技術の進展と高周波デバイス評価の課題
次世代通信技術の進展に伴い、評価の対象となる周波数領域はミリ波・サブテラヘルツ帯へと広がっています。ETRIは、GaN MMICを用いたデバイス開発における設計精度と性能予測の向上を目指し、動作周波数帯に加えて高調波領域までを含めた広帯域での特性評価を進めています。
このような高周波デバイスの特性評価では、パッケージや実装の影響を排除し、デバイス本来の特性を評価するオンウェハ測定が広く用いられています。しかし、ミリ波・サブテラヘルツ帯でのオンウェハ測定では、プローブの接触状態や測定系の影響により測定にばらつきが生じやすく、設計データと実測データを高い精度で比較・検証するための評価基盤の構築が課題となっていました。
VectorStar™ ME7838Gによる評価基盤の構築
ETRIは、これらの課題に対応するために「VectorStar™ ME7838G」を導入しました。ME7838Gは、最大220 GHzまでのシングルスイープ測定に対応しており、ミリ波からサブテラヘルツ帯までを単一のプラットフォーム上で評価できるという特長があります。
広帯域評価を単一の測定系で実施できるため、周波数帯域ごとに測定系を切り替える必要がなく、ミリ波からサブテラヘルツ帯まで一貫した測定条件でオンウェハ測定を行う評価基盤が構築されました。これにより、広帯域で取得した測定データを設計データと一貫した条件で、かつ高い精度で比較・解析できる環境が実現されています。
今後の展望
アンリツは、6Gや次世代衛星通信に向けた高周波デバイス開発において、広帯域での特性評価と高い測定再現性を両立する計測技術の重要性が今後さらに高まると考えています。今後も、計測技術を通じて半導体の研究開発および評価を支援していく方針です。
本事例の詳細は、アンリツ公式Webサイトに掲載されているPDF「ファウンドリ品質を支える高周波評価基盤を構築」で確認できます。
関連情報
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アンリツのソリューション紹介ページ: https://www.anritsu.com/ja-jp/test-measurement/solutions
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韓国電子通信研究院（ETRI）について
ETRI（Electronics and Telecommunications Research Institute）は、情報通信技術（ICT）、エレクトロニクス、半導体などの分野における韓国有数の研究機関です。6Gをはじめとする次世代通信技術や先端半導体技術の研究開発を推進しています。
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